說起先進的半導體工藝，Intel、IBM、臺積電、三星電子這些耳熟能詳的名字肯定會立刻出現在大家的腦海中，而因為各方面的限制，國內在這方面的差距還非常非常大，只有中芯國際能拿得出手，但也總比國外落后幾個時代。

　　不過據《中國科學報》最新消息，中國科學院微電子研究所集成電路先導工藝研發中心（以下簡稱先導工藝研發中心）通過4年的艱苦攻關，在22納米關鍵工藝技術先導研究與平臺建設上，實現了重要突破，在國內首次采用后高K工藝成功研制出包含先進高K/金屬柵模塊的22納米柵長MOSFETs，器件性能良好。

　　由于這一工作采用了與工業生產一致的工藝方法和流程，具備向產業界轉移的條件，因而對我國集成電路產業的技術升級形成了具有實際意義的推動作用。同時，該先導工藝研發中心建成了一個能夠開展22納米及以下技術代研發的工藝平臺。

　　這標志著，我國也加入了高端集成電路先導工藝研發的國際俱樂部。

　　優勢互補 “穿插偵察”齊上陣

　　4位“***”、5位中科院百人計劃，30多位工業界核心的工程師團隊……先導工藝研發中心擁有這樣一支令人艷羨的國際化研發團隊。

　　“我們整個項目團隊在構架上做得比較好。海歸跟本土團隊結合得水乳交融，形成優勢互補。”該中心主任趙超表示。

　　2009年，在國家科技重大專項02專項的支持下，微電子所成團隊引進了一大批海歸，建成了擁有200多名研發人員的集成電路先導工藝研發中心。

　　楊世寧、朱慧瓏、趙超、閆江4位“千人”在磨合中迅速形成優勢互補的決策團隊，在4年艱苦的攻關中擰成一股繩，打出了漂亮的短傳配合。

　　例如，楊世寧原是中芯國際的首席運營官，現任中科院微電子所所長執行顧問一職。他具有非常豐富的產業化運營經驗，是一個“會做減法的人”，能始終把握主干，而將枝枝葉葉修剪掉，使項目迅速有效率地直奔目標。

　　先導工藝研發中心的首席科學家和項目首席專家朱慧瓏，是來自IBM的引領發明家和發明大師，主要負責整體技術路線的制定和布局，在器件物理、工藝研發、TCAD和知識產權布局等發揮主導作用。他身先士卒，在項目中完成了200多項專利申請。

　　趙超曾在世界著名的研發中心IMEC從事了10多年研發工作，其研發領域涵蓋集成電路前道工藝和后道工藝，對8英寸、12英寸工藝線上多個技術代工藝研發有較全面的經驗。

　　2011年，他受命擔任先導工藝研發中心主任一職，負責中心的行政領導工作；同時，作為項目的副首席專家，他負責工藝平臺的建設工作，對研發中心整體建設付出了大量的艱苦勞動。

　　閆江則擁有在英飛凌公司美國研發部10年的工業界研發經驗。他曾參與和負責了從90納米、65納米、45納米和32納米技術代的產品研發項目。作為項目的副首席專家，他負責工藝整合子課題的領導工作，帶領著30多名工程師沖鋒在第一線。

　　對于先導工藝研發中心的使命，幾位“***”專家有著一致的認識：“我們是國家集成電路工藝研發戰役中的‘穿插部隊’和‘偵察部隊’”。

　　朱慧瓏解釋道：“穿插部隊的特點和任務就是：一要效率高，二要能占領戰略要地。”先導工藝研發中心作為穿插部隊，它的一個優勢就是快速、靈活，可以先于工業界的“大部隊”插入敵后，并用專利布局的方法占領與其投入相稱的戰略要地。

　　壓力山大 時間節點見真章

　　“4年之前，對22納米項目能否成功有著各種各樣的猜測。對此，我們非常理解，畢竟這是一個難度極大的項目。”趙超說。

　　在此之前，我國曾有過幾次建設集成電路研發中心的努力，但都沒有達到預期戰略目標。面對國家數億元的大投入和高期待，以及業界同行們的高度關注，幾位“***”專家承受著巨大壓力。

　　“做這項大工程，我們有一兩年都睡不好覺，‘壓力山大’啊！”趙超在回憶道，“你能明顯感到別人質疑的目光，卻無法解釋。我們真有點像挖山的愚公，只能希望用勞作來感動上天。”

　　在2012年4月，當第一個驗證工藝設備器件研制出來時，團隊所有人都擠在那小小的示波器前等待結果。

　　當在看到驗證的原理器件出來的那一剎那，在場的所有人都“眼淚汪汪”的。

　　這項工程不僅面臨著從無到有的技術難度，還面臨著幾乎不可能完成的時間節點。

　　由于資金等現實問題，閆江的工藝整合集成子課題的完成時間被迫由兩年時間縮短至7個月。

　　為了保證任務按時完成，閆江要保證每批次的流片實驗一次成功。為此，他與工藝線上的30多位工程師每天仔細地檢測各個工藝步驟是否符合設定的特性，將差錯的苗頭消滅在第一時間，保證每一步流片的質量。

　　在7個月內，線上的工程師一度24小時連軸轉，片子從這個機臺出來就被抱著跑向下一個機臺。就這樣，他們用15天跑完了全程近300道工藝步驟的流程，達到工業界研發的最快速度。

　　最終，6個批次的流片實驗全部一次成功，團隊按時完成了工藝整合集成的項目任務。

　　拉長戰線 為轉化生產作鋪墊

　　在談到團隊建設時候，海歸們不約而同地提到微電子所所長葉甜春。

　　這批海歸以及從國內遴選出來的精兵強將，都是葉甜春一個一個挖來的，有的甚至是在別人的招聘會場上“劫來的”。

　　專家們表示，加盟團隊的一個重要原因正是因為葉甜春的感召力。微電子所副所長陳大鵬是先導工藝研發中心的奠基人和研究所人才戰略最直接的執行者。經他之手，一個一個海歸加入團隊，開始發揮各自聰明才智的創業進程。

　　正是這一廣攬人才的做法，帶來了科研理念更新和科研模式質的改變。例如，朱慧瓏帶來了專利先行的思想，并為項目結出豐碩成果。先導工藝研發中心在項目過程中建立了自主知識產權帶動的科研模式，始終堅持“專利先行”的戰略。

　　“過去，我國在知識產權建設上沒有合理的戰略布局，我們辛辛苦苦研發的技術早就被別人申報了專利。這樣，即使有自主研發，也做不到自主知識產權。”趙超感嘆道。

　　在該項目的執行過程中，微電子所與北京大學、清華大學、復旦大學以及中科院微系統所的聯合項目組完成了1369項專利申請，其中包括424項國際專利申請，為我國在集成電路領域掌握自主知識產權、取得國際話語權奠定了基礎。

　　先導工藝研發中心堅持“通過做項目錘煉團隊”的原則，建設成一個在科研人員、科研條件上堪稱國際水平的平臺。

　　“通過這個項目，我們可以呈現給國家一支研究力量，而不單單是完成一項科研工作。”趙超如是說。

　　建成的平臺對后續項目發展起到非常重要的作用，現在，中心正在著手開展16/14納米技術的研發。

　　“我們現在進展得非常順利，在跑步追趕，差距不斷縮小。”趙超表示。現在，先導工藝研發中心的研發效率和質量管理系統都是工業化標準的，得到工業界研發伙伴的充分認可。

　　同時，項目對國家科技重大專項其他課題和整個產業鏈起到了直接的支撐作用。“我們完成了專項交付的各項戰略任務。”趙超表示，“研發中心不僅在先導工藝技術研發上起到國家隊的作用，同時成為國產半導體裝備和材料的驗證基地、集成電路工程技術人才的培養基地和該領域的國際交流基地。”

　　下一步，該中心將加入專項部署的更大規模的“戰役”，把先導技術轉化成工業生產技術，為國家集成電路產業發展作出更多貢獻。